干式真空泵運行期間出現噪音，干式真空泵位置不正確，需要調整。在工作過程中，更多的大顆粒進入干式真空泵腔，造成磨損和噪音。啟動時的設定壓力可能過高，不會導致真空泵部件過熱和損壞。
 

　　液體的突然侵入會導致干式真空泵損壞，因為在快速冷卻的情況下，氣體無法達到蒸發液體所需的溫度，蒸汽無法及時從泵中逸出。針對這種情況，在處理室和干式真空泵之間需要一個接收器來吸收進入泵的液體，以防止損壞干式真空泵。
 

　　干式真空泵的常見故障及維修方法：
 

　　1、干式真空泵運行過程中有噪音，干式真空泵位置不正確，需要調整。在工作過程中，更多的大顆粒進入干式真空泵腔，造成磨損和噪音。啟動時的設定壓力可能過高，不會導致真空泵部件過熱和損壞。
 

　　2、液體的突然入侵會導致干真空泵的損壞，因為在快速冷卻的情況下，氣體不能達到蒸發液體所需的溫度，蒸汽不能及時從泵中逸出。鑒于這種情況，處理室和干真空泵之間需要一個接收器來吸收進入泵的液體，以防止干真空泵的損壞。
 

　　3、在粉塵顆粒或粉塵過程中，可在真空泵入口處安裝粉塵過濾器，保護干式真空泵和下游泵。
 

　　4、干式真空泵需要全音量運行。與旋轉真空泵相比，沒有壓縮排氣壓力的內部壓縮功能。所有與介質接觸的零件均無油，所有適用于干式真空泵的零件仍適用于干式真空泵。結構緊湊，泵運行速度快。